XBS

Zakres zastosowań

• Kontrola depozycji warstw i monitorowanie próżni w procesach wykorzystujących wiązkę molekularną
• Monitorowanie odparowywanie komponentów i fragmentów (halogenki, tlenki)
• Motojonizacja
• Kontrola procesów desorpcji, odgazowania
• Monitorowanie zawartości helu
• Monitorowanie i diagnostyka zanieczyszczeń w komorze procesowej

• 

Rodzaj detektora

Detektor Faradaya i Powielacz elektronów  lub Podwójny detektor Faraday lub powielacz elektronów typu Channeltron

Czułość (minimalne wykrywalne ciśnienie cząstkowe gazu)

5 ppb

Zakres 100% to 5ppb

Zakres mas

320 lub 510 amu

Szczególne cechy

System monitorujący wiele źródeł podczas depozycji wiązek molekularnych
*CAD skonfigurowane wielokrotne  źródło X-wiązki
*Kąt wiązki +/- 35 stopni do osi
*Kontrola szybkości wzrostu zazwyczaj < 0.01 Angstrema / sekundę
*Tryb detekcji nieszczelności – zaprojektowany na hel
*Kontrola szybkości depozycji: analogowe
*Wyjście: 4, 8 lub 16- kanałowe
*Liniowe Monitorowanie położenia w osi Z
*Opcjonalna osłona z wody chłodzonej zabezpieczająca przed radiacyjnymi źródłami
*Wzmocniona czułość detekcji dużych mas, z automatycznym dopasowaniem skali)
*Wzmocniona odporność na zanieczyszczenia
*Limit detekcji 30 jonów/sekundę